全自動單/雙面刷洗機
? ? ? ?全自動單/雙面刷洗機由Loading、Unloading、晶圓機械手、刷洗、甩干單元等單體組成，通過晶圓機械手將晶片由Loading單元轉移到刷洗工位，通過毛刷對晶片表面進行藥液、二流體、純水刷洗，清除晶片表面的微小粒子。
所屬分類：
全自動單/雙面刷洗機
- 產品描述
-
| 設備概述
全自動單/雙面刷洗機由Loading、Unloading、晶圓機械手、刷洗、甩干單元等單體組成，通過晶圓機械手將晶片由Loading單元轉移到刷洗工位，通過毛刷對晶片表面進行藥液、二流體、純水刷洗，清除晶片表面的微小粒子。| 應用領域
應用于碳化硅（SiC）、硅（Si）、氮化鎵（GaN）等半導體材料的刷洗，同時可用于藍寶石、陶瓷、水晶等材料。| 設備特點
? 晶圓機械手傳輸晶片過程精度高、穩定性高。
? 可兼容2、4、6、8寸晶片的刷洗。
? 自動化操作無人工干預，避免二次污染。
? 全封閉刷洗環境，避免環境污染。
? 雙刷洗工位，有效提高生產效率。
? 實現干進干出的加工方式。| 可選配置
? 兆聲波發生器
? 濕進干出裝置
? 翻轉裝置，實現單面轉雙面刷洗| 設備參數
CONTACT US
聯系方式
地址：江蘇省蘇州市工業園區蘇虹中路39號
聯系人：曹 倩 17768021885
微信公眾號