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陶瓷盤清洗貼片一體機

零售價

市場價


? ? ? ?陶瓷盤豎直清洗,可減少設備占地面積。
? ? ? ?采用超聲波清洗,可較大限度避免損傷、磕碰陶瓷盤。
? ? ? ?自動上/下料系統以及8片容量的陶瓷盤推車,可減少人工,提高效率。
? ? ? ?搬移機械手單獨上下移動,可增強陶瓷盤清洗效果。
? ? ? ?陶瓷盤清洗結束后可直接翻轉,通過轉接機構,可與兩臺貼蠟機進行對接,自動完成涂蠟、甩蠟、貼片、冷卻的貼蠟工序。
? ? ? ?可一拖一或一拖二選配。
? ? ? ?晶片貼片前清洗,陶瓷盤清洗有效降低貼片過程中的氣泡、黑點污染,提高貼片良品率。

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數量
-
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庫存

隱藏域元素占位

陶瓷盤清洗貼片一體機

? ? ? ?陶瓷盤豎直清洗,可減少設備占地面積。
? ? ? ?采用超聲波清洗,可較大限度避免損傷、磕碰陶瓷盤。
? ? ? ?自動上/下料系統以及8片容量的陶瓷盤推車,可減少人工,提高效率。
? ? ? ?搬移機械手單獨上下移動,可增強陶瓷盤清洗效果。
? ? ? ?陶瓷盤清洗結束后可直接翻轉,通過轉接機構,可與兩臺貼蠟機進行對接,自動完成涂蠟、甩蠟、貼片、冷卻的貼蠟工序。
? ? ? ?可一拖一或一拖二選配。
? ? ? ?晶片貼片前清洗,陶瓷盤清洗有效降低貼片過程中的氣泡、黑點污染,提高貼片良品率。

所屬分類:

陶瓷盤清洗貼片一體機

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  • 產品描述

    |  應用領域
           應用于碳化硅(SiC)、硅(Si)、氮化鎵(GaN)等半導體材料的加工,同時可用于藍寶石、陶瓷、水晶、MEMS、光學產品等材料。

     

    |  設備特點
    ? 陶瓷盤豎直清洗,可減少設備占地面積。
    ? 采用超聲波清洗,可較大限度避免損傷、磕碰陶瓷盤。
    ? 自動上/下料系統以及8片容量的陶瓷盤推車,可減少人工,提高效率。
    ? 搬移機械手單獨上下移動,可增強陶瓷盤清洗效果。
    ? 陶瓷盤清洗結束后可直接翻轉,通過轉接機構,可與兩臺貼蠟機進行對接,自動完成涂蠟、甩蠟、貼片、冷卻的貼蠟工序。
    ? 可一拖一或一拖二選配。
    ? 晶片貼片前清洗,陶瓷盤清洗有效降低貼片過程中的氣泡、黑點污染,提高貼片良品率。

     

    |  設備參數

    產品

    適用產品

    產品規格

    2、4、6、8寸

    陶瓷盤規格

    Φ360mm、Φ485mm、Φ520mm、Φ546mm

    設備

    設備尺寸

    W6600mm * L5500mm * H2505mm

    設備重量

    約6500Kg

    外觀

    銀白色

    電氣

    電源

    AC380V,三相五線,50Hz

    總功率

    90kw

    壓縮空氣

    壓力

    0.5~0.7(MPa)

    用量

    550(NL/hr)

    連接口徑

    Φ12mm

    清洗槽進水
    (客戶提供純水)

    連接口徑

    1inch

    流量

    15L/min

    溫度

    常溫

    出盤翻轉裝置

    類型

    減速電機翻轉,氣缸夾緊

    翻轉

    減速電機

    夾緊

    氣缸

    貼片加壓裝置

    加壓氣囊

    電子氣壓調節功能,實現壓力線性控制

    壓力設定范圍:15~150KPa

    貼片瓷盤加熱裝置

    預熱加熱盤

    功率

    2.5kw

    貼片加熱盤

    功率

    2.5kw

    分度

    伺服電機分度

    冷卻盤

    冷卻水控制

    裝有ON / OFF通斷電磁閥

    甩蠟裝置

    適用產品

    2、4、6、8寸

    托盤尺寸

    Φ30mm、Φ70mm

    真空輸入

    -450~-650mmHg

    控制系統

    PLC觸摸屏

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