全自動(dòng)雙軸減薄機(jī)FSG系列
零售價(jià)
市場(chǎng)價(jià)
重量
庫(kù)存
隱藏域元素占位
全自動(dòng)雙軸減薄機(jī)FSG系列
? ? ? ?全自動(dòng)雙軸減薄機(jī)由晶圓機(jī)械手、3個(gè)承片工作臺(tái)、2個(gè)砂輪軸、清洗單元等單體組成，通過(guò)承片工作臺(tái)和砂輪軸的旋轉(zhuǎn)，同時(shí)砂輪軸向下進(jìn)給，對(duì)承片工作臺(tái)上的產(chǎn)品進(jìn)行磨削加工，加工過(guò)程中使用在線厚度測(cè)量，控制產(chǎn)品厚度直至設(shè)定的目標(biāo)厚度。且承片工作臺(tái)可以在加工過(guò)程中自動(dòng)調(diào)節(jié)加工角度，修整目標(biāo)產(chǎn)品的形狀。
所屬分類(lèi)：
全自動(dòng)雙軸減薄機(jī)FSG系列
- 產(chǎn)品描述
-
| 設(shè)備概述
全自動(dòng)雙軸減薄機(jī)由晶圓機(jī)械手、3個(gè)承片工作臺(tái)、2個(gè)砂輪軸、清洗單元等單體組成，通過(guò)承片工作臺(tái)和砂輪軸的旋轉(zhuǎn)，同時(shí)砂輪軸向下進(jìn)給，對(duì)承片工作臺(tái)上的產(chǎn)品進(jìn)行磨削加工，加工過(guò)程中使用在線厚度測(cè)量，控制產(chǎn)品厚度直至設(shè)定的目標(biāo)厚度。且承片工作臺(tái)可以在加工過(guò)程中自動(dòng)調(diào)節(jié)加工角度，修整目標(biāo)產(chǎn)品的形狀。| 應(yīng)用領(lǐng)域
應(yīng)用于碳化硅（SiC）、硅（Si）、氮化鎵（GaN）、鍺（Ge）、砷化鎵（GaAs）、磷化銦（InP）等半導(dǎo)體材料的快速薄化，同時(shí)可用于藍(lán)寶石、陶瓷、水晶，以及棱鏡等光學(xué)產(chǎn)品的加工。| 設(shè)備特點(diǎn)
? 整體鑄造式鑄鐵機(jī)身，高剛性，高穩(wěn)定性。
? 旋轉(zhuǎn)式3工位加工平臺(tái)。
? 兼容8、12寸不同尺寸晶片的加工。
? 采用高精度、超強(qiáng)穩(wěn)定性空氣主軸。
? 加工過(guò)程中實(shí)時(shí)在線厚度測(cè)量。
? 雙砂輪軸同時(shí)加工。
? 干進(jìn)干出的加工方式。
? SECM/GEM、MES系統(tǒng)。
? TTV≤0.5 µm。| 可選配置
? 空氣主軸
? 砂輪在線修整功能
? 接觸式/非接觸式厚度測(cè)量| 設(shè)備型號(hào)
CONTACT US
聯(lián)系方式
地址：江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)蘇虹中路39號(hào)
聯(lián)系人：曹 倩 17768021885
微信公眾號(hào)
Copyright © 2023 辰軒半導(dǎo)體設(shè)備（江蘇）有限公司 All rights reserved
網(wǎng)站建設(shè)：中企動(dòng)力 昆山 SEO